01 ȸ»ç¼Ò°³
02 Á¦Ç°¼Ò°³
03 ±â¼úÀÚ·á
04 µ¿¿µ»óÀÚ·á
05 ¼îÇθô
¸ðµç ¹Ì¸³ÀÚ ÇÊÅÍ´Â EU1(¸Å¿ì Á¶ÀâÇÔ)ºÎÅÍ EU 14(¸Å¿ì ¼¼¹ÐÇÔ)±îÁöÀÇ ´Ü°è·Î µî±ÞÀÌ ³ª´©¾îÁ® ÀÖ´Ù.
Àû°í/Áß°£ÀÇ soldering
0.3 micron - 99.997%
(ÀϹÝÀûÀÎ ³³¶«½ÂÁ¤)
ÀÛÀº ¸ÕÁö/ ¸¹Àº
¾çÀÇ soldering
1micron - 97%
Á¢Âø½É/solvent
extraction ¹Ì¸³ÀÚ°¡
¾Æ´Ñ Áõ°¡¿¡ »ç¿ë
(³¿¼¼ Á¦°Å¿ë)
HEPA Filter¸¦ º¸È£ÇϱâÀ§Çؼ­
ÀÔÀÚ¸¦ ¿©°ú

- °¡°ÝÀÌ Àú·Å
- EU4 µî±Þ
- 50%È¿°ú(1 micron ÀÔÀÚ)
- ÁÖ¸§ ÇüÅÂÀÇ ±¸Á¶
- Á¾ÇÕÀûÀÎ ¸Å°³Ã¼
0.3microns±îÁö ¿©°ú±â´É
- EU13 µî±Þ
- 99.997% ¿©°úÈ¿°ú 0.3microns
   (95% to 0.01 microns)
- Class 100(federal standard 209C)
- ¼ÒÇüÁÖ¸§ÆÇ ÇüÅÂ
- À¯¸®¼¶À¯ ÀçÁúÀÇ ÇÊÅÍ
¼öºÐ°ú °¡½º¸¦ Èí¼öÇÏ°í ¿©°ú
- È°¼ºµÈ carbonÀº
   ¿©·¯°¡Áö ´Ù¸¥ È­Çй°ÁúÀ» Èí¼ö
- ħÀü½Ä ±¸Á¶
- ¸ÕÁö°¡ ŸÁö ¾ÊÀ½
- Ư¼ö »ç¾ç °¡´É
- ¼Öº¥Æ®µî¿¡ ÀÌ»óÀû
½ÉÇÑ ³³¿¬±â³ª ÀÛ°í °¡º­¿î ¸ÕÁö Á¦°Å¿¡
ÀÌ»óÀû

- EU8 µî±Þ
- 1micron Å©±âÀÇ ¸ÕÁö´Â 97%±îÁö¿©°ú
- Á¾ÇÕÀûÀÎ ¸Å°³Ã¼
- ³ÐÀº Ç¥¸é¸éÀû = ±ä ¼ö¸í
- ¼Ö´õ¸µ ÀÛ¾÷½Ã¿¡´Â gasÇÊÅÍ°¡ ÇʼöÀû